安全评价单位名称

南昌中微半导体设备有限公司

项目名称:

中微南昌产业化基地项目（一期）安全预评价报告

简 介:

南昌中微半导体设备有限公司成立于2017年12月15日，注册地址：江西省南昌市南昌高新技术产开发区天祥大道699号兆和光电科技园中微生产厂房，注册资金：2500万元；法定代表人：GERALD ZHEYAO YIN（美国国籍），为有限责任公司（外商投资企业法人独资）；经营范围：集成电路设备、半导体设备、环保设备的研发、技术咨询、技术服务、生产及销售；自营或代理各类商品和技术的进出口业务；机械设备租赁。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）。

该公司为国民经济行业分类的3562“半导体器件专用设备制造”。该公司中微南昌产业化基地项目于2020年9月11日取得南昌高新技术产业开发区管理委员会项目统一代码为：2020-360198-35-03-037744号的《江西省企业投资项目备案通知书》。

该公司为了市场的发展等原因，该公司决定建设中微南昌产业化基地项目（其中MOCVD150腔、Etch设备100腔、Scrubber尾气处理装置300套、PCBA FCT测试设备30套），为该公司一期项目（以下简称该项目）。

受南昌中微半导体设备有限公司的委托，江西赣安安全生产科学技术咨询服务中心成项目安全评价组，于2021年3月到建设单位收集有关资料。对拟建现场进行勘察，对委托方提供的资料进行认真分析，运用安全系统工程原理和评价方法，对《南昌中微半导体设备有限公司中微南昌产业化基地项目》可能出现的危险、有害因素辨识分析和定性、定量评价。在此基础上，根据《安全评价通则》（AQ8001-2007）和《安全预评价导则》（AQ8002-2007）的要求，编制完成该项目安全预评价报告。

安全评价项目组长:

谢寒梅

技术负责人:

马 程

过程控制负责人:

王海波

评价报告编制人:

谢寒梅

报告审核人:

檀廷斌

参与评价工作的安全评价师:

王冠、黎余平、占伟、谢寒梅

注册安全工程师:

马程、谢寒梅、王冠、占伟

技术专家:

到现场开展安全评价工作的人员名单:

谢寒梅

时间和主要任务:

时间：2021.3；主要任务：安全预评价

评价报告：

项目基本情况

项目名称：中微南昌产业化基地项目

公司住所：江西省南昌市南昌高新开发区规划三路以东、光伏规划三路以北

企业类型：有限责任公司（外商投资企业法人独资）

项目规模：MOCVD150腔、Etch设备100腔、Scrubber尾气处理装置300套、PCBA FCT测试设备 30套

建设性质：新建

项目投资：84456.56万元人民币

建设地址：江西省南昌市南昌高新开发区规划三路以东、光伏规划三路以北

投资单位：南昌中微半导体设备有限公司

建设单位：南昌中微半导体设备有限公司

法定代表：GERALD ZHEYAO YIN

总占地面积：约130亩

总图编制单位：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司

危险、有害因素辨识结果

南昌中微半导体设备有限公司中微南昌产业化基地项目（一期），该项目生产涉及的原辅材料有Etch零部件、C₃F₈（八氟丙烷）、C₄F₈（八氟环丁烷）、N₂O（一氧化二氮）、HE（氦气）、NO（一氧化氮）、PO₂（液氧）、CL₂（液氯）（剧毒品）、BCL₃（三氯化硼）、CH₃F（氟甲烷）、SiCl₄（四氯化硅）、CHF₃（三氟甲烷）、CH₂F₂（二氟甲烷）、MOCVD零部件Scrubber零部件、PCBA FCT零部件、无铅锡条、石墨盘、蓝宝石衬底、硅片衬底、砷化镓衬底、磷化铟衬底、200PPMSIH₄/H₂、PN₂（氮气）、丙烷、硅烷、乙烯、PNH₃（液氨）、PH₂（氢气）、二氯硅烷、三氯氢硅、乙硅烷、酒精、异丙醇、盐酸、氨水、双氧水、磷化氢（剧毒品）、砷化氢（剧毒品）、基片、Scrubber安装件、CF₄（四氟化碳（四氟甲烷））、SiH₄（四氢化硅）、LNG（天然气）、SF₆（六氟化硫）、Tangit ABS、Tangit PVC-C、Tangit PVC-U等；涉及的产品为MOCVD、Etch设备、Scrubber尾气处理装置、PCBA FCT测试设备。

该项目危险、有害性的分析，结果为：

1、主要危险、有害因素

（1）监控化学品辨识

依据《各类监控化学品名录》（工信部令第52号）进行辨识，该项目不涉及监控化学品。

（2）易制毒化学品辨识

依据《易制毒化学品管理条例（2015）》（国务院令第445号）及附表规定进行辨识，该项目盐酸属于易制毒化学品。

（3）剧毒化学品辨识

《危险化学品目录[2015年版]》辨识，该项目液氯、磷化氢、砷化氢属于剧毒化学品。

（4）高毒物品辨识

依据《高毒物品目录》（卫法监发[2003]142号）进行辨识，该项目液氨液氯、磷化氢属于高毒物品。

（5）易制爆化学品辨识

根据《易制爆危险化学品目录》（2017年版）进行辨识，该项目双氧水（30%）属于易制爆危险化学品。

（6）重点监管的危险化学品辨识

根据国家安全监管总局《关于公布首批重点监管的危险化学品目录的通知》（安监总管三[2011]95号）及《关于公布第二批重点监管危险化学品目录的通知》(安监总管三[2013]12号)的规定，该项目液氨、液氯、天然气、氢气、乙烯、磷化氢属于重点监管的危险化学品。

（7）特别管控危险化学品

根据《特别管控危险化学品目录（第一版）》应急管理部、工业和信息化部、公安部、交通运输部公告2020年第1号的内容，该项目液氨、液氯、天然气、乙醇属于特别管控危险化学品。

（8）依据《危险化学品重大危险源辨识》（GB18218-2018）的规定，该公司氨气站储存单元、硅烷站储存单元、氢氧站储存单元、甲类仓库1储存单元、甲类仓库2储存单元不构成危险化学品重大危险源。

综合结果：根据以生产工艺、设备设施、原辅物料、实际操作等条件分析，可以确定项目工程中存在有中毒、窒息、灼烫、火灾、爆炸、触电、机械伤害、车辆伤害、起重伤害、高温灼烫、高处坠落、物体打击、淹溺、粉尘、噪声与振动、高温与辐射等危险、有害因素。其中，中毒、窒息、灼烫、火灾、爆炸是本公司主要危险有害因素。

提交时间: 

2022年1月20日